电子行业超纯水用水处理设备

在电子制造业中,超纯水是至关重要的基础材料,其水质纯度直接影响到集成电路、微电子元件的成品率、性能及可靠性。任何微量的杂质都可能导致产品短路、缺陷或失效,因此对超纯水的水质要求达到了更高的标准。超纯水制备是一个逐级提纯的多工序过程。首先,预处理系统是基础保障,其目的在于去除原水中的悬浮物、胶体、有机物和余氯,为后续深度脱盐工序创造有利条件。通常采用多介质过滤、活性炭吸附及精密过滤等技术,确保进入反渗透膜的水质达标。

核心脱盐环节主要依赖反渗透技术。反渗透膜在高压作用下,能高效截留水中绝大部分的溶解盐类、离子和有机物,脱盐率可高达98%以上。这一步骤去除了水中超过99%的杂质,产出的淡水称为“反渗透产水”,但其电阻率通常在1-10 MΩ·厘米级别,仍远未达到超纯水标准。为进一步提升水质,系统会采用深度除盐工艺。最主流的方法是电去离子技术,它巧妙地将电渗析与离子交换技术结合,无需再生即可连续、稳定地产出电阻率高达15 MΩ·厘米以上的超纯水。此过程能彻底去除水中残余的微量离子。

最终,精处理与分配循环系统保证终端用水点水质的关键。该环节通常配备抛光混床离子交换器,用于去除痕量离子,并将水质电阻率提升至18.2 MΩ·厘米的理论值。同时,循环管道系统采用特殊抛光处理的不锈钢材质,并通过连续循环和紫外线杀菌等措施,防止纯水在输送过程中被二次污染。

综上所述,电子行业超纯水设备是一个技术密集型的系统工程。通过预处理、反渗透、电去离子及精处理抛光等多重技术的精密组合与协同,才能稳定可靠地生产出满足电子制造要求的超纯水。

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